尽管中国国内一直都没有获得荷兰ASML的高端光刻机，比如EUV光刻机，但是大量半导体制造企业都还是购买了ASML的DUV光刻机。而且在今年禁令实现之前，ASML各类型的DUV光刻机，几乎都销往了国内。所以从这个角度而言，国内半导体其实还是很依赖ASML的DUV光刻机，即使如中芯国际这样的国内芯片制造巨头，其生产设备也是依赖ASML的DUV光刻机。
可能很多人都乐观认为，尽管买不到先进的EUV光刻机，甚至好一些的DUV光刻机也买不到了，但只有自己现在手上的DUV光刻机足够，那么依然能通过其他方案来提升国产芯片的技术含量，比如用多重曝光技术，就能让DUV光刻机生产工艺足够先进的芯片。但似乎很多人都忽略了一点，光刻机也是需要维护，需要更换部分老化配件的，那么如果国内的DUV光刻机无法获得正常的维护和更新，那无疑会形成一场灾难。
而现在看来，荷兰似乎要从ASML的售后做文章了。根据最新的情况来看，荷兰政府计划禁止半导体设备制造商ASML在中国进行设备维护，以及提供相关备份的零部件。而一旦这个计划施行，将对中国半导体产业造成沉重打击。
多个消息渠道表示，荷兰政府不打算在2024年结束后，续发ASML为中国某些厂商的维护和提供备份零部件的许可，这些许可就包括了ASML的DUV光刻机。而一但停发许可，那么就意味着很多厂商的DUV光刻机出现问题后，就无法获得正常的维护和零配件更换，很有可能成为昂贵的废铁。
要知道ASML的光刻机是业界最先进的半导体制造设备之一。其产品在出售之际就附带了维护协议，这对相关设备接下来能够正常的运作非常重要。因此，ASML如果因为荷兰政府压力，取消对中国企业的维护与提供备份零件许可，这可能导致一些DUV光刻机最快在2025年就无法正常工作。而一些超负荷使用的光刻机可能会坏得更快，比如采用多重曝光去生产先进芯片的DUV光刻机风险尤其高。
这对中国半导体行业以及荷兰ASML公司来说，显然是个双输的局面。从国内半导体的角度来看，尽管买不到ASML的EUV光刻机，但DUV光刻机维持现有的局面甚至能进一步提升芯片工艺都是可以做到的，但如果没有了ASML的维护和备份零配件，那么这意味着国内的DUV光刻机坏一台就少一台，芯片代工厂和芯片制造商都会受到沉重的打击，国内芯片的技术也很难突破。
而对ASML来说，营业收入过去有一半来自中国，而这个政策如果真的实施的话，未来如果不能提供维护与备份零组件的服务，预计会因为减少了维护与备份零组件的营收，进一步冲击ASML 的营收。另外，像ASML和应用材料这样的海外设备供应商，一般都会派驻工程师长时间驻扎在大客户的晶圆厂中，以求能快速帮助解决在实际生产线上的问题。但以后如果没有这部分服务后，那么ASML就不得不撤走在国内晶圆厂里的员工。
现在这个措施还没有正式开启，但如果一旦开启那么肯定会对国内半导体行业构成很严重的打击，包括一些手机厂商自研发的芯片，产能和良率都会大大下降。那么如何破局呢？除了希望这个举措不能实施之外，唯一的办法就是希望国产光刻机能快速问世，并且达到足以商业化以及正常生产芯片的水准，当然现在看起来还是比较难的……
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编辑｜张毅
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