俄罗斯绕过制裁 为几十年前的ASML芯片制造设备

据路透社报道，尽管欧洲制裁禁止向俄罗斯实体出售任何高科技机器，但俄罗斯公司仍在 2022 年和 2023 年成功获得了 ASML 1990 年代芯片制造机器的备件。Tweakers.net 引用了荷兰《Trouw》根据俄罗斯海关记录得出的报告，称这些零部件是通过中国代理采购的。

俄罗斯 2022 年全面入侵乌克兰后，欧盟实施制裁，禁止向俄罗斯出售电子设备，其中包括芯片制造工具的备件。然而，据 Trouw 称，俄罗斯进口商已经想方设法为ASML 的 PAS 5500 光刻工具引进了至少 170 批备件，其中大部分来自中国供应商。

ASML 在回复路透社时确认遵守这些制裁措施，并表示近年来没有销售产品或与俄罗斯分销商有任何往来。

ASML 的 PAS 5500 系列 200 毫米光刻工具最初于 1991 年推出，并在 20 世纪 90 年代和 21 世纪初不断发展。如今，PAS 5500 系列包括 i-line、氟化氪（KrF）步进机以及 i-line、KrF 和氟化氩（ArF）步进扫描系统。虽然 ASML 不再生产这些光刻工具，但它销售翻新的 PAS 5500 机器，并计划将其支持到 2035 年，因此市场上有大量的备件，尤其是在中国。

根据具体型号的不同，PAS 5500 机器可配备波长为 365 纳米的 i 线激光器，分辨率可达 400纳米（PAS 5500/100D），或配备波长为 193 纳米的 ArF 激光器，分辨率可达 90 纳米（PAS 5500/1150C）。20 世纪 90 年代初的 PAS 5500 设备可用于生产 350 纳米（35 微米）工艺技术的内存或逻辑芯片，而 20 世纪 90 年代末和 21 世纪初的后继设备则可生产 130 纳米和 90 纳米制造工艺的高级逻辑芯片，这与俄罗斯的 Angstrem 和 Mikron 芯片制造商的能力不相上下。

从形式上看，PAS 5500 光刻工具并没有被归类为具有潜在军事用途的军民两用技术（可能是因为现在最新的光刻工具已经有 20 年的历史了），但它们可以用来制造相当先进的芯片。例如，AMD 的双核 Athlon 64 X2 和 Athlon 64 FX 就是采用 90nm 级工艺技术制造的。此外，即使是 20 世纪 90 年代的 ASML PAS 5500 光刻系统，也可用于制造不需要尖端工艺节点的模拟或射频芯片。

这是一个令人头疼的消息。俄罗斯在战争开始后使用的伊斯坎德尔导弹装满了重复使用的苏联时代的芯片。与此同时，关于在俄罗斯武器中发现微电子的大多数报道都集中在英特尔或德州仪器等西方公司的芯片上。然而，凭借相当先进的工艺技术，俄罗斯也可以生产自己的武器芯片。在芯片行业拥有数十年经验的工程师伊戈尔-拉普科（Igor Lapko）在接受《特鲁瓦报》采访时说，现在，俄罗斯导弹使用的旧部件越来越少，而更多的是安格斯特雷姆公司生产的新芯片。

随着以中国为基地的实体越来越多地支持俄罗斯维持其芯片产业，美国加强了对参与这一贸易的中国贸易商的制裁。然而，接受特鲁瓦询问的专家提醒说，欧洲在执行类似措施方面并不那么积极主动，而这些措施可能对限制俄罗斯的军事能力至关重要。